シリコンスラリー廃液のリサイクル事業、アミタが北九州で開始

 資源リサイクルのアミタはこのほど、半導体製造時に発生するシリコンスラリー廃液のリサイクル事業を同社のリサイク施設「北九州循環資源製造所」(福岡県北九州市)で始めた。約1億6千万円を投資し、減圧蒸留設備を導入。廃液を減圧蒸留によって固液分離し、シリコンを含有するリサイクル製品や蒸留グリコール液などの製造販売を行う。

 同社によると、半導体需要の高まりを背景にシリコンスラリー廃液のリサイクルニーズも高まっているが、再資源化処理が難しく国内処理が進んでいないという。同社はこれまでに兵庫県姫路市や台湾の施設で同廃液のリサイクル事業を行っており、そのノウハウを生かして北九州でもスタートした。

 西日本の半導体メーカーが排出する廃液を回収して製造。シリコン含有リサイクル製品は金属原料として、蒸留グリコール液はグリコール代替原料として、ユーザー企業で使われる。月間処理能力は約120トン。

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